| G 250 | G 350 | G 450 | |
|---|---|---|---|
| 处理室尺寸 | 宽 270 毫米，深 370 毫米，高 400 毫米 | 宽：370 毫米，深：390 毫米，高：500 毫米 | 宽：500 毫米，深：500 毫米，高：650 毫米 |
| 热蒸发器 | 多达 4 种材料 | 多达 8 种材料 | 多达 8 种材料 |
| 有机蒸发器 | 多达 4 种材料 | 多达 4 种材料 | 多达 8 种材料 |
| 电子束蒸发 | 多槽或单槽 | 多槽和/或单槽 | 多槽和/或单槽 |
| 溅射 | 向上或向下，2 x 2" | 向上或向下：3 支 2 英寸口径的喷枪，或 2 支 3 英寸口径的喷枪 | 向上或向下：3 支 3 英寸、2 支 4 英寸、4 支 2 英寸或其他尺寸 |
| 共沉积 | 蒸发和/或溅射 | 蒸发和/或溅射 | 蒸发和/或溅射 |
| 与真空进样室兼容 | 可选 | 可选 | 可选 |
| 离子辅助沉积 | 可选 | 可选 | |
| 真空度 | 中真空 10-7 mbar | 中真空 10-7 mbar | 中真空 10-7 mbar |
| 与洁净室兼容 | 是 | 是 | 是 |
